پاک کننده یکپارچه برای دفع ویفر ، جداسازی و درج ویفر (واحد دفع ، تقسیم و تمیز کردن ویفر) به طور ویژه برای تمیز کردن خودکار ، از بین بردن ذرات بزرگ ، دفع ، برش ، درج و تمیز کردن شیمیایی وفرهای نیمه هادی طراحی شده است. این تجهیزات برای ویفرهای 8 اینچی مناسب است و دارای یک فرآیند کاملاً خودکار از جمله تغذیه ، شستشوی اسپری ، تمیز کردن اولتراسونیک ، گرمایش ، گرمایش ، حذف صفحه ، برش اتوماتیک ، درج کاست و شستشوی سوزاننده شیمیایی است.

ویفرهای انباشته با استفاده از مکانیسم فنجان مکش یک به یک از هم جدا می شوند. ویفرهای آسیب دیده قبل از تغذیه در یک کاست 8 اینچی ویفر توسط یک سیستم CCD شناسایی و گزارش می شوند. کاست کامل به طور خودکار درج می شود ، و حمل و نقل/تخلیه کاست از بخش degumming توسط یک دستگیرنده اتوماتیک انجام می شود. Manipulator کاست کامل را ترتیب داده و آن را به ایستگاه تغذیه دستگاه تمیز کننده بعدی می فرستد. Manipulator دستگاه تمیز کننده سپس کاست را از طریق دو مخزن تمیز کننده شیمیایی ، دو مخزن شستشو و یک فرآیند خشک کردن هوای گرم قبل از چیدمان و خروجی نهایی حمل می کند. کل سیستم به عنوان یک کانال فرآیند مداوم طراحی شده است و فقط به اپراتور نیاز دارد تا قطعه های کاری و کاست را بارگیری کند.

پاک کننده یکپارچه برای ردیابی شماره فرآیند و شناسه کاست در بارگیری ، تمیز کردن و تخلیه موقعیت ها به سه اسکنر بارکد مجهز شده است. مدیریت تولید ویفر بر اساس این کدها فعالیت می کند. صفحه لمسی شامل کارت حافظه نصب شده جلو {2} برای بازیابی آسان داده ها است و داده های ضبط شده را می توان به طور مستقیم توسط رایانه میزبان دسترسی پیدا کرد. یک چاپگر حرارتی در فرآیند بارگیری کاست ، علائم سفارش کار را چاپ می کند.

اجزای کلیدی الکتریکی از Omron ، Mitsubishi ، Festo ، SMC و Keyence وارد می شوند و از عملکرد قابل اعتماد ، عمر طولانی مدت و عملکرد پایدار اطمینان می دهند.

پارامترهای محصول

01/

جریان تولید:

LOAD → QDR → تمیز کردن قلیایی اولتراسونیک → مخزن تقسیم کننده → مخزن تقسیم → مکانیسم درج → اسکن و مکانیسم حمل و نقل → (مخزن قلیایی اولتراسونیک 1 → مخزن قلیایی اولتراسونیک 2 → مخزن شستشو 1 مخزن شستشو با بلند کردن 2 → مخزن خشک کردن 1 → مخزن خشک کردن

02/

مواد اصلی:

قاب فلزی ؛ مخازن از صفحات آینه SUS316 استفاده می کنند.

03/

حمل و نقل:

حمل و نقل بازوی روباتیک.