تمیز کننده sic با مسواک زدن مگاسونیک - خشک کردن

Wafer Megasonic دو -} مسواک زدن و تمیز کردن اسپین - خشک کن (تمیز کننده sic با چرخش مسواک مگاسونیک ، دستگاه خشک کردن -} خشک کردن یک دستگاه بارگذاری {3} inting ، دستگاه دست ساز و ویفر (با قابلیت شیب دار). واحد تصفیه FFU ، سیستم کنترل الکتریکی ، سیستم لوله کشی و سیستم پنوماتیک.

ارسال درخواست

Wafer Megasonic دو -} مسواک زدن و تمیز کردن چرخش - خشک کن (پاک کننده sic با چرخش مسواک مگاسونیک ، دستگاه خشک کردن - خشک کردن) شامل یک دستگاه بارگذاری تک {{3} inting ، دستگاه دست ساز و ویفر (با قابلیت شیب دار). واحد تصفیه FFU ، سیستم کنترل الکتریکی ، سیستم لوله کشی و سیستم پنوماتیک.

product-480-275

پارامترهای محصول

01/

1. جریان تولید:

بار → موقعیت مکانی → چرخش ، مسواک زدن ، تمیز کردن ، دو- اسپری سیال (سمت SI) → بیش از 180 درجه چرخش ، مسواک زدن ، تمیز کردن ، اسپری مگاسونیک (C) → چرخش ، چرخش {2} Drying → DRAILLOAD

02/

مواد 2.Major:

قاب فلزی

صفحه سفید PP

03/

3.Transportation:

ویفرها با دست رباتیک تمیز منتقل می شوند.

ویژگی ها و برنامه های کاربردی

ذرات باقیمانده را از هر دو سطح ویفر حذف می کند:

a. Particle size 0.3~0.5 µm: removal rate >90 ٪ یا<200 particles;

b. Particle size 0.5~1 µm: removal rate >95 ٪ یا<10 particles.

توجه: دستگاه بازرسی با Candela یا SICA سازگار است.

جزئیات محصول

ظرفیت اتاق شستشو:

1 ویفر

زمان دسته ای از تولید معمولی:

تقریباً . 144 sec/قطعه (زمان برس قابل تنظیم است)

اندازه استاندارد:

6 اینچ (φ150 میلی متر) و 8 اینچ (φ200mm)

اندازه استاندارد غیر -:

φ150 ~ 153mm و φ200 ~ 203mm

سناریوهای کاربردی

◇ در اکتبر سال 2023 ، پاک کننده SIC با مسواک زدن مگاسونیک- خشک شدن راه اندازی شد و فعالیت را به عنوان یک واحد نسخه ی نمایشی در سایت مشتری برای Wuxi hy Solar آغاز کرد.

تگ های محبوب: تمیز کننده SIC با مسواک زدن مگاسونیک - خشک کردن ، تمیز کننده SIC چین با مسواک زدن مگاسونیک - تولید کنندگان خشک کن