سیستم عرضه شیمیایی ویفر SI از دو زیر سیستم تشکیل شده است:
سیستم همزن دوپ
سیستم تأمین مایع مخلوط
این سیستم با هم زدن ، مخلوط کردن ، مخلوط کردن و تهیه توابع به نقاط پایانی دستگاه ، دوغاب پولیش را فراهم می کند.
پارامترهای محصول
1. جریان تولید:
ترکیب → مخلوط کردن → تأمین
مواد 2.Major:
قاب فلزی با صفحات پوسته PP
پمپ پنوماتیک PVDF / پمپ پنوماتیک Perfluoro
3. ویژگی های خاص:
مجهز به واگن برقی اختصاصی Olecranon
پیکربندی مخزن ذخیره سازی: 1+ 1} یدکی
ویژگی ها و برنامه های کاربردی
این سیستم دوغاب پولیش مکانیکی شیمیایی را برای پردازش ویفر تأمین می کند.
جزئیات محصول
از مواد وارداتی و لوله های سیم پیچ خنک کننده PFA استفاده می کند
کنترل دقیق پاکیزگی در حین مونتاژ
مونتاژ شده در کلاس 10،000 محیط تمیز
از آلودگی ذرات و فلز جلوگیری می کند
سناریوهای کاربردی
◇ در دسامبر سال 2024 ، سیستم تأمین شیمیایی ویفر SI (CDS) راه اندازی شد و فعالیت خود را در سایت مشتری شانگهای AST آغاز کرد.
تگ های محبوب: سیستم تأمین مواد شیمیایی Si ویفر ، مواد شیمیایی ویفر چین تولید کنندگان سیستم تهیه کننده

